半导体丨巴鲁夫BES电感式传感器助力提高半导体生产的稳定性

巴鲁夫Balluff 2024-08-09

巴鲁夫BES电感式传感器以其卓越的性能和可靠性，在半导体生产的各个环节中发挥着至关重要的作用。

在当今数字化时代，半导体作为微芯片的主要组成部分，已成为工业发展中不可或缺的关键要素。随着技术的发展和市场需求的迅速增长，半导体的性能要求也在日益提升，对制造工艺的精度和复杂性提出了更高的挑战。

在此背景下，巴鲁夫凭借其在传感器与自动化领域的深厚积累，为半导体行业带来创新的解决方案。

BES电感式传感器

巴鲁夫BES电感式传感器以其卓越的性能和可靠性，在半导体生产的各个环节中发挥着至关重要的作用。无论是在载具传送、晶圆传送还是晶圆加工过程中，都能提供精确的监控，确保生产过程的连续性和稳定性，并降低维护和存储成本。

特别是在阀门监控方面，巴鲁夫开发了能够承受高压和高温环境的电感式传感器，非常适合集成到ALD阀门中。

下面我们为您介绍巴鲁夫BES电感式传感器在各个环节中的具体应用。

载具传送

检测AMHS终端位置

巴鲁夫为您监测载具输送车的终端位置提供了众多选择。根据您的需求，我们提供电感式、电容式或光电式传感器，让您能够确认AMHS位置是否正确，您的载具是否精确定位在装载架上，确保载具传送过程的稳定可靠。

特点

1、非接触式，即无磨损

2、具有技术多样性，能够高效应对各种需求

晶圆传送

检测末端执行器上的晶圆位置

巴鲁夫电感式传感器不仅能让您确定末端执行器上是否存在晶圆，同时检测晶圆的确切位置。这些传感器具备短路保护功能，允许紧密相邻安装，以实现多点位置检测。其紧凑的外形设计，使得它们能够轻松地集成到末端执行器上，具有更高的灵活性。

特点

1、可靠的电缆断裂和短路自诊断

2、外形规格多样，满足具体应用需求

3、能够集成到末端执行器上

晶圆加工

可靠地控制流量阀

在晶圆加工环节，当进入工艺室的介质正常流动是由阀门控制时，阀门的可靠运作至关重要。巴鲁夫的电感式传感器以其卓越的坚固性和紧凑设计，能够无缝集成到阀门系统中，确保阀门操作的精确性和连续性，从而保障整个晶圆加工过程的稳定性和效率。

特点

1、外形小巧，易于集成

2、安装完成后，传感器后端的LED可提供可视信息

3、无需外部放大器

半导体自动化就选巴鲁夫

巴鲁夫提供多样化的电感式传感器以满足不同应用和行业需求。我们的产品包括标准型、耐高压型和防磁型等，采用多种外壳材料和密封技术，确保适配性。提供多种外壳直径和螺纹尺寸，便于集成，即使在空间受限的场合也能提供高效解决方案。

在半导体制造领域，我们的产品不仅满足多样化的工业需求，还特别针对半导体生产环境进行定制，确保高精度和可靠性。通过巴鲁夫先进的传感器技术，助力您的生产流程实现自动化和智能化，提高效率并降低成本，让您在激烈的市场竞争中取得优势。

文章来源：巴鲁夫Balluff

图片来源：巴鲁夫Balluff

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责任编辑：朱晓裔

审核人：李峥