随着科技的发展,半导体技术已成为推动人工智能、物联网、5G通信等众多前沿领域发展的核心动力。在智能制造和工业4.0的浪潮中,半导体助力企业实现数字化转型,以提升生产效率和智能化水平,同时数字化也对这一行业提出了更高的要求。
在半导体领域,巴鲁夫为您提供专业支持。在晶圆传送、晶圆加工等半导体生产流程,我们为您打造高效且可靠的解决方案,我们全面、扎实的专业技术帮助您应对具体的应用挑战。
本期我们将聚焦电容式传感器在半导体行业中的应用。它们主要用于物体监测和过程控制,其高灵敏度、快速响应和紧凑的结构设计,能够优化您的应用体验,增强了生产过程的准确性和可靠性。从而确保了半导体产品的质量和性能,满足您的高标准要求。
载具传送
检查AMHS的末端位置
用于物体监测的电容式传感器
巴鲁夫为您提供多样化的方案来监测运输筐车辆的终端位置。根据不同的要求,我们推荐电容式、感应式或光电式传感器。这些都可以使您能够监测AMHS的位置是否正确,让您的运输筐可以精确地行进到装载口。
特点
非接触式,即无磨损
具有技术多样性,有效处理各种需求
晶圆传送
检测末端执行器上是否存在晶圆
用于开关放大器的电容式传感头
巴鲁夫带PTFE涂层的电容式传感器能够检测末端执行器上是否存在晶圆。以其高可靠性精准检测晶圆,即使在晶圆悬垂时亦不受影响。传感器安装高度仅2.5mm,便于集成,且配备外部放大器,便于远程调节。
超扁平,仅2.5mm
PTFE外壳,适用于多种表面
尽可能小的身形,带来高精度
晶圆加工
以非接触方式透过容器壁检测液位
电容式液位传感器(不接触媒介)
在湿化学中,我们的电容式液位传感器是监测酸、碱和超纯水等液体的理想工具。它们能够穿透达10mm的玻璃和塑料容器壁,实现精确的液位检测。这些传感器特别适用于如酸这一类高导电性介质,能有效排除泡沫和积垢的干扰,确保您的生产流程顺畅无阻。
适用于酸、碱、超纯水和浆液
无需开孔
半导体自动化就选巴鲁夫
我们提供多样化的传感器组合,以应对半导体生产过程中的高精度以及坚固耐用的需求。无论是在晶圆检测中追求精度,还是在监控(ALD)阀门中需要极高的坚固性,我们的产品都能提升设备的可用性并保证产品质量。
选择巴鲁夫,您将为半导体制造引入一系列高效、可靠的物体监测与过程控制技术,实现生产流程的自动化和智能化,提高效率并降低成本,从而在激烈的市场竞争中取得优势。
文章来源:巴鲁夫Balluff
图片来源:巴鲁夫Balluff
转载平台:微信公众号
责任编辑:朱晓裔
审 核 人:李峥
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2024-09-11
2024-09-10
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