半导体丨电容式传感器(BCS)：物体监测与过程控制的理想之选

巴鲁夫Balluff 2024-08-23

在半导体领域，巴鲁夫为您提供专业支持。在晶圆传送、晶圆加工等半导体生产流程，巴鲁夫为您打造高效且可靠的解决方案，我们全面、扎实的专业技术帮助您应对具体的应用挑战。

随着科技的发展，半导体技术已成为推动人工智能、物联网、5G通信等众多前沿领域发展的核心动力。在智能制造和工业4.0的浪潮中，半导体助力企业实现数字化转型，以提升生产效率和智能化水平，同时数字化也对这一行业提出了更高的要求。

在半导体领域，巴鲁夫为您提供专业支持。在晶圆传送、晶圆加工等半导体生产流程，我们为您打造高效且可靠的解决方案，我们全面、扎实的专业技术帮助您应对具体的应用挑战。

本期我们将聚焦电容式传感器在半导体行业中的应用。它们主要用于物体监测和过程控制，其高灵敏度、快速响应和紧凑的结构设计，能够优化您的应用体验，增强了生产过程的准确性和可靠性。从而确保了半导体产品的质量和性能，满足您的高标准要求。

载具传送

检查AMHS的末端位置

用于物体监测的电容式传感器

巴鲁夫为您提供多样化的方案来监测运输筐车辆的终端位置。根据不同的要求，我们推荐电容式、感应式或光电式传感器。这些都可以使您能够监测AMHS的位置是否正确，让您的运输筐可以精确地行进到装载口。

特点

非接触式，即无磨损

具有技术多样性，有效处理各种需求

晶圆传送

检测末端执行器上是否存在晶圆

用于开关放大器的电容式传感头

巴鲁夫带PTFE涂层的电容式传感器能够检测末端执行器上是否存在晶圆。以其高可靠性精准检测晶圆，即使在晶圆悬垂时亦不受影响。传感器安装高度仅2.5mm，便于集成，且配备外部放大器，便于远程调节。

特点

超扁平，仅2.5mm

PTFE外壳，适用于多种表面

尽可能小的身形，带来高精度

晶圆加工

以非接触方式透过容器壁检测液位

电容式液位传感器（不接触媒介）

在湿化学中，我们的电容式液位传感器是监测酸、碱和超纯水等液体的理想工具。它们能够穿透达10mm的玻璃和塑料容器壁，实现精确的液位检测。这些传感器特别适用于如酸这一类高导电性介质，能有效排除泡沫和积垢的干扰，确保您的生产流程顺畅无阻。

特点

适用于酸、碱、超纯水和浆液

无需开孔

半导体自动化就选巴鲁夫

我们提供多样化的传感器组合，以应对半导体生产过程中的高精度以及坚固耐用的需求。无论是在晶圆检测中追求精度，还是在监控（ALD）阀门中需要极高的坚固性，我们的产品都能提升设备的可用性并保证产品质量。

选择巴鲁夫，您将为半导体制造引入一系列高效、可靠的物体监测与过程控制技术，实现生产流程的自动化和智能化，提高效率并降低成本，从而在激烈的市场竞争中取得优势。

文章来源：巴鲁夫Balluff

图片来源：巴鲁夫Balluff

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责任编辑：朱晓裔

审核人：李峥