物料搬运系统(AMHS)是半导体工厂高效运转的“动脉”,其运行效率直接决定了整厂的产出节奏。然而,传统AMHS调度模式正面临多重挑战。
系统壁垒造成数据割裂,MES(生产执行)、MCS(物料控制)与OHTC(天车控制)系统间数据无法高效融合,计划、分配与执行环节各自为战,局部目标常与整厂全局最优目标背道而驰。
调度僵化难应复杂工况,传统算法基于静态规则,面对多批次订单时效、设备资源争抢、轨道拥堵等动态约束时无法灵活适配,导致OHT空驶率高、搬运等待时间长,效率瓶颈凸显。
运维响应过度依赖经验,异常发生时,工程师需人工查询多系统数据排查,故障定位耗时数小时,错失最佳恢复窗口。
这些问题的根源并非设备能力不足,而是缺乏一套能够融合全局业务数据、具备智能研判与自主决策能力的一体化调度系统。针对这一行业困局,格创东智旗下格创维晟精准发力,推出AMHS智慧物流解决方案,为半导体工厂物料搬运难题提供全流程破解路径。
破局方法:AI+AMHS智慧物流解决方案
格创维晟AI+AMHS智慧物流解决方案,横向覆盖半导体工厂从库房存储、产线间传输到机台装卸的全物料流转场景,纵向以AI、多源数据融合、Physical AI技术为核心支撑,打造从“大脑决策”到“肢体执行”的端到端闭环智能物料搬运决策系统。

方案核心由三大层面构成,形成软硬协同的完整闭环:
硬件矩阵:覆盖搬运、存储全场景,包括OHT(空中天车)、Stocker(自动仓储)、Conveyor(传送带)及NTB(近机台缓存设备)等全栈智能装备,构建稳定、高效的硬件基础。
智能调度中枢:RTS/RTD(智能派单系统)、MCS(物料控制系统)与OHTC(天车控制系统)全栈协同,实现物料搬运任务最优匹配与路径规划。
智能体集群:依托多约束推理智能体实现全局最优方案搜索,借助AI Agent调度运营智能体实现系统柔性适配生产需求变更,通过Physical AI OHT自控智能体实现毫秒级本地最优执行方案决策,三者协同发力,赋予系统自主研判、灵活适配的核心能力。
这套横向到边、纵向到底的软硬一体化方案,成功破解了半导体工厂数据孤岛与调度僵化的核心瓶颈,真正实现整厂物料搬运全局效率提升。
场景深潜:当千台OHT在方寸之间高效穿梭
在先进晶圆厂中,OHT需在复杂的轨道路网中每天执行数万次的物料搬运任务。传统调度模型在面临产线波动或多车拥堵时难以快速求解最优解,易导致机台待料、影响整体OEE,同时空跑与无效等待造成运能浪费。
格创维晟方案的优势集中体现在三大核心能力,精准破解行业痛点:
全局寻优引擎:基于多约束AI推理模型,同时考量批次时效、设备资源、轨道流量等数十个约束条件,搜索最优执行方案。相比传统调度模型,该引擎融合MES、MCS、OHTC多层系统数据,锚定整厂效率目标,实现工序顺序、任务分配、路径规划与节拍调度的四维协同优化。
自适应运营决策:AI Agent根据实时生产需求与风险预测,自动调整运营参数与任务分配,结合大模型与历史经验文档,实现系统自适应变更与重调度,将突发状况响应从小时级压缩至分钟级。
Physical AI本地自治:OHT搭载边缘控制器,融合雷达、摄像头、陀螺仪、电流电压等多模态传感器信息,在接收调度指令的同时依据环境感知进行本地自主决策,包括防撞避让、路径协商与运动控制调整,确保运行安全与平顺。

实战案例:8吋硅片厂的增产提效突围之路
国内某TOP级8吋硅片厂商,产线高度依赖人工搬运物料,为实现30万片/月产能爬坡、且人力减少80%的“增产提效”目标,急需构建高节拍、全自动的物流与生产体系。
格创维晟为其集成OHT+OHB+Stocker+Conveyor系统布局,通过RTD+MCS+OHTC系统联动实现路径优化与智能调度,提供覆盖产线全流程的自动化物料流转方案。
良率与产能双重提升:根除人工搬运导致的震动、污染与操作失误,有力提升生产良率,支撑产能爬坡目标。
全栈国产自主可控:软硬件自研确保数据安全与备件供应实时性,提供自主可控的多方保障。
构建统一中控平台:汇聚全厂软硬件实时数据,将信息转化为清晰洞察,赋能管理者精准调度与高效人机协同。
文章来源:格创东智Gtrontec
图片来源:格创东智Gtrontec
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责任编辑:朱晓裔
审 核 人:李峥
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