普发真空研发的HiCube系列高可靠性的涡轮分子泵组

 
为了适应研发、加速器、分析、表面物理以及真空工艺技术、电子束焊接和检漏设施等方面的应用要求，普发真空研发了HiCube系列高可靠性的涡轮分子泵组。该泵组采用了模块化设计，可以满足客户从35~685 L/s不同抽速的需求；全配置并可立即投入使用，前级泵和涡轮分子泵的完美组合提供了“即插即用”的功效。

HiCube系列泵组由HiPace系列涡轮分子泵和干式或旋片式前级泵组成，可以满足不同客户的需求。泵组拥有坚固的外壳、现成的接口及全自动的泵组单元，具有高度的灵活性。其连接线均被整合到泵组的背面，各配件可以非常方便的拆卸，因此可以便捷地将涡轮分子泵自泵组中移出，连接到其他腔体或系统上。另外，即使没有专用工具，客户也可以非常方便地为旋片泵换油。泵组运转时安静而节能。根据客户的应用需求，公司也可为用户提供泵组水冷或者加热套件。