对射型mapping将发射和接收两个部分相对安装，当晶圆遮挡住光线时，立即触发输出信号。与此同时，结合伺服配套的编码器，我们能够准确计算wafer 厚度。

倍加福R2R3系列激光对射光电产品，具备成为晶圆Mapping检测的理想之选的优势：外形迷你；小而亮的光斑；易于对齐；超快速的响应时间，仅为0.25ms。此外，产品还配备了Teach-in功能，进一步增强了检测的精度和可靠性，为晶圆Mapping检测提供了强大的技术支持。

特性亮点：

■ DuraBeam Laser激光技术

■ 超快的响应时间，0.25ms

■ 可Teach-In功能

在一些工位中，由于空间限制无法安装对射传感器，此时漫反射型传感器便成为客户青睐的备选方案。这种传感器同样需要非常小光斑的激光漫反射技术，并配合快速的响应时间，以确保wafer的准确计数和异常判断。

■ R2R3激光漫反射

R2R3系列提供固定检测距离的激光漫反射型产品，客户可根据需要选择15/30/50/80mm的检测距离。

■ R100激光漫反射

R10X系列提供检测距离可调的激光漫反射型产品，检测范围覆盖100/300mm，为客户提供了更大的灵活性和便利性。

特性亮点：

■ 小光斑，约1mm

■ 超快响应时间，0.25ms

■ 检测距离可调，100/300mm