常温下可实现300万次超长寿命。它采用独特机械传动结构，大幅降低部件摩擦，即使长期高频运行，依然保持动作精准可靠。

同时，为减少通道处颗粒堆积导致的二次污染，XGTP系列在自加热烘烤方面也具备成熟解决方案，有效防止低温冷凝，维持通道洁净。

真空无杆缸CYV系列采用平行移动设计，确保传送过程平稳无震荡，从结构源头抑制颗粒产生。搭配低发尘材质与优化密封，进一步维持系统内部的“无尘状态”，为晶圆安全保驾护航。

铝制高真空L型阀  XL□

无尘、洁净

烘烤温度均匀、气体溢出少

耐氟腐蚀性强，重金属污染少

波纹管可单独更换，维护更经济

特殊设计可防止灰尘卷起、防止泵过载 

XVD系列阀体与针阀一体化，采用金属膜片阀座，大幅减少微粒产生，并通过分阶段供气控制，防止洁净气体全量导入时卷起微粒。

XLD系列阀采用了S阀（小通导）和M阀（大通导）嵌套结构设计，结构紧凑、配管简化，且S阀具备流量可调功能。(阀体也有不锈钢材料可选：XMD、XYD系列)。

XSA系列采用大弹簧密封，降低了因弹簧接触引起的发尘；内部结构优化，减少了介质残留，避免腐蚀和污染。适用压力范围广(1×10⁻6 Pa(abs)/OUT侧至1.0 MPa/IN侧)，满足从高真空到中压系统的所有需求。